机构和上升直线导轨等组成,调平上升过程初步调焦,调平完成锁紧球气浮后,样片和掩模之间会产生一定的间隙,因此必须进行微调焦hcamdc• com”
“另一方面,调平完成进行对准,必须分离一定的对准间隙,也需要进行微调焦hcamdc• com”
“抽拉掩模台主要用于快速上下片,由燕尾导轨、定位挡块和锁紧手轮组成hcamdc• com”
霍家齐整整介绍了一个多小时hcamdc• com
武长风听的直迷糊hcamdc• com
其实,他懂的也不多,甚至不如霍家齐专业hcamdc• com
但自己对于光刻机的过往趣事,要比霍家齐知道的多的多hcamdc• com
武长风问道:“试生产了吗?”
霍家齐点点头:“试过了,但效果不是很好,合格率只有五成,也不知道是我们操作失误,还是机器有问题hcamdc• com”
“还是接触时间太短,找不到具体的原因hcamdc• com不过,我相信,随着我们继续研究,一定会找到具体原因的hcamdc• com”
武长风宽慰的说道:“要知道,你们现在已经走在大陆前列,和世界并轨hcamdc• com”
“我的要求不多,你们要钱给钱,要人给人hcamdc• com”
“我只有一个期望,跟上世界的脚步,别被甩开了hcamdc• com”
霍家齐沉默一会:“老板,这光刻机高端的地方实在是太多了,比如晶圆,说白了就是脱氧后的沙子,但去氧这个步骤就很难搞hcamdc• com”
“还是光刻胶,怕是投入几百人也不一定研究出来hcamdc• com”
“类似种种,有很多东西hcamdc• com”
“而生产芯片,大致分为设备、材料、设计等上游环节、中游晶圆制造,以及下游封装测试等三个主要环节hcamdc• com”
“所以,我想问一下老板,咱们是全部跟进,还是……”
武长风听后,低头沉思了很久hcamdc• com
全部跟进是不可能的,只能选择其中一个到二个项目进行研发hcamdc• com
让启明星挤进这个产业链中去,成为不可或缺的一部分hcamdc• com
其实生产芯片过程分为:原料晶圆→晶圆涂膜→晶圆光刻显影→蚀刻→搀加杂质→晶圆测试→封装→测试、包装hcamdc• com
看似简单,但需要的东西实在是太多hcamdc• com
这个根本就不是一个地区或是国家能全部完成的hcamdc• com
这里面的本质原因,除了在光刻机发展阶段,没有得到足够重视外