用人hcamdc• com
厂房里面还需要不间断的吹风hcamdc• com
一边吹一边过滤，确保完全无尘hcamdc• com
而这种吹风过滤的机器，叫风机过滤机组hcamdc• com
这种机组，只有老美和岛国才能生产出来hcamdc• com
这也是武长风让霍家齐去往岛国购买的空气净化设备的缘由hcamdc• com
就连过滤用的滤纸，在后世都没有国产能够替代hcamdc• com
在芯片生产这个流程里面，类似这样的细节还有很多hcamdc• com
这不仅仅是环境的要求，还有更多的注意事项，简直就是让人头皮发麻hcamdc• com
进入车间后hcamdc• com
霍家齐陪在武长风身边，一边介绍，一边说道：“为了启动这玩意，咱们花了不少时间，但时间反而是不值钱的hcamdc• com”
“花钱最多的就是购买各种原材料hcamdc• com”
武长风点点头：“不要急，慢慢来，你要知道，现在能买到，这都是高光时刻了hcamdc• com”
霍家齐有点懵逼，啥意思？
以后还买不到了？
这让霍家齐无法理解hcamdc• com
但他也没多想，只要有老板武长风在，一切问题都能解决hcamdc• com
老板就是这么一个创造奇迹的人hcamdc• com
随后，霍家齐展现了自己专业，扎实的基本功hcamdc• com
指着光刻机部件一一介绍道：
“老板，我们这是半自动设备，对准可以通过电动轴根据CCD的进行定位调谐hcamdc• com”
“这是紫外光源，曝光系统最核心的部件之一hcamdc• com”
“这个是对准系统，采用的全气动轴承设计专利技术，有效避免轴承机械摩擦所带来的工艺误差hcamdc• com”
“这里是工件台，顾名思义就是放工件的平台，光刻工艺最主要的工件就是掩模和基片hcamdc• com”
“工件台为光刻机的一个关键，由掩模样片整体运动台（XY）、掩模样片相对运动台（XY）、转动台、样片调平机构、样片调焦机构、承片台、掩模夹、抽拉掩模台组成hcamdc• com
“其中，样片调平机构包括球座和半球hcamdc• com调平过程中首先对球座和半球通上压力空气，再通过调焦手轮，使球座、半球、样片向上运动，使样片与掩模相靠而找平样片，然后对二位三通电磁阀将球座和半球切换为真空进行锁紧而保持调平状态hcamdc• com”
“样片调焦机构由调焦手轮、杠杆