每秒之间波动bqgqi◇cc
当温度达到520摄氏度后,蒸镀速率维持在至埃每秒bqgqi◇cc
许秋先开启样品台旋转,在等待了约十秒钟后,同时打开样品挡板并将膜厚仪的膜厚计数器归零bqgqi◇cc
钙要蒸镀10纳米的厚度,也就是100埃bqgqi◇cc
待膜厚仪示数达到100埃时,许秋迅速关闭样品挡板bqgqi◇cc
随后,他将束源炉升温数控装置关闭,让束源炉自然降温bqgqi◇cc
最后,将膜厚仪的参数改为铝的参数bqgqi◇cc
半小时后bqgqi◇cc
束源炉的温度降低至77摄氏度bqgqi◇cc
许秋关闭钙的束源炉挡板,打开电流加热装置bqgqi◇cc
这个加热装置很简单,就是把电源、钨篓、电位器(类似于滑动变阻器)、保险丝、电流计连在一起,通过调节电位器,便可以改变电路中的电流大小bqgqi◇cc
许秋缓慢扭动电位器的旋钮,使电流计示数从0逐渐增加至18安培bqgqi◇cc
当电流达到16安培时,膜厚仪上蒸镀速率开始有了示数bqgqi◇cc
电流达到18安培后,许秋等待了几秒,然后同时打开样品挡板并清零膜厚仪的膜厚计数器bqgqi◇cc
蒸镀速率则先是从、迅速提升至,随后迅速回落至,之后缓缓下降至,埃每秒……
电流计的示数也会随着时间变化,忽上忽下bqgqi◇cc
每当其相较于18的偏离值超过1时,许秋就将其调至18bqgqi◇cc
铝的厚度要求是100纳米,也就是1000埃bqgqi◇cc
待膜厚仪示数达到1000埃时,许秋迅速按下样品挡板bqgqi◇cc
然后缓缓扭动电位器,将电流归零bqgqi◇cc
接着关闭超真空挡板阀,停止分子泵bqgqi◇cc
等待十分钟后,分子泵转速从降至0,关闭其开关bqgqi◇cc
最后,关闭机械泵,关闭总控台bqgqi◇cc
…………
“终于结束啦!”许秋长吁了一口气,感慨道bqgqi◇cc
“这么多操作,居然零失误,厉害呀!”陈婉清竖起了大拇指bqgqi◇cc
“这都是学姐教的好bqgqi◇cc”许秋道bqgqi◇cc
“行啦,别谦虚了,你的科研天赋我心里有数呢bqgqi◇cc
想想我当初学蒸镀,可是没少让魏老师头疼,不是忘记开空气泵,就是忘开挡板,甚至还有一次忘记放基片了bqgqi◇cc”陈婉清道bqgqi◇cc
听到最后一句,许秋没忍住笑了出来,然后看到学姐睁着大眼睛瞪着他,他赶紧把笑容收敛住,面色严肃的向手套箱走