第二十一章 真空镀膜(下)
空气泵发出一声巨响,随后传来“咣咣咣”的声响bqgqi◇cc
许秋吓的一激灵,朝后缩了一下身子bqgqi◇cc
等了一会儿,他感觉没什么危险,便上前检查空气泵bqgqi◇cc
“看着没有问题啊bqgqi◇cc”他向学姐道bqgqi◇cc
“确实没问题,这是正常情况bqgqi◇cc现在是发动机在通过曲轴,驱动活塞向储气筒内打气,等到储满气后,就会自动停下bqgqi◇cc”
陈婉清试图绷住脸上的笑容,但是没有成功,还是笑了出来bqgqi◇cc
“学姐你是故意的吧bqgqi◇cc”许秋做出一副愤慨的样子bqgqi◇cc
“怎么会呢,我是那样的人嘛bqgqi◇cc”陈婉清笑道bqgqi◇cc
许秋摇了摇头,回到总控台,继续实验bqgqi◇cc
他打开总控开关,膜厚仪的数显屏幕亮起bqgqi◇cc
许秋先检查膜厚仪的参数是否设置正确,包括靶材名称、密度和Z因数等bqgqi◇cc
膜厚仪的原理并不是直接测量膜厚,而是通过间接法计算得到bqgqi◇cc
在蒸镀过程中,靶材分子到达晶振片处,会产生电信号,经过拟合计算可将电信号转化为蒸镀速率,最后将速率与时间相乘得到膜厚bqgqi◇cc
调好膜厚仪后,数显屏幕上显示:
蒸镀材料为钙,速率为埃每秒,膜厚为埃bqgqi◇cc
同时,许秋观察到总控台上面有两个气压计,可以实时监测蒸镀舱内的压强bqgqi◇cc
其中一个示数为一个大气压,即帕,另外一个则处于未工作状态bqgqi◇cc
“为什么要安装两个气压计呢?”许秋疑惑道bqgqi◇cc
“两者的压强测定范围不同,前者约为到10000帕,后者约为十的负六次方到1帕bqgqi◇cc”陈婉清道,随后又补了一句:
“准备工作都好了,开始抽真空吧bqgqi◇cc”
许秋点点头,按下机械泵的启动键,同时打开超真空挡板阀,又是一阵轰鸣声传来bqgqi◇cc
“蒸镀操作的噪音有点大啊bqgqi◇cc”习惯了之前安静实验环境的许秋,忍不住吐槽道bqgqi◇cc
“是啊,不过慢慢你就会适应的bqgqi◇cc”陈婉清道bqgqi◇cc
机械泵启动后,气压计的示数快速减小bqgqi◇cc
从,迅速变为,然后是,直至1E3帕左右,下降速度才开始变慢bqgqi◇cc
过了两分钟左右,压强终于降至20帕以下,许秋关闭超真空挡板阀,打开分子泵bqgqi◇cc
分子泵的转速要从0逐渐加速至