”
陈婉清：“因为学校要统计实验室的固定资产，价格超过1000元的都要统计上报kodf♜org实验室虽然是魏老师管，但所有权是归国家的，因为申请的科研经费是国家出的kodf♜org除非是老板自掏腰包或者企业出钱，那就另说kodf♜org”
许秋点点头，开始打量舱体内部kodf♜org
下面有四个圆柱体形状的炉子，应该是束源炉kodf♜org
四个束源炉旁边有两个金属平台，每个平台上面都有一块金属板，大概六厘米长，三厘米宽，一厘米厚，金属板通过六角螺丝与平台连接，中间有一定的缝隙kodf♜org
“学姐，这个是干什么用的？”许秋指着平台问道kodf♜org
“这个是电流加热装置，将用钨丝制成的篓，放在两个平台间，用金属板压住钨篓两端，通电流对钨篓加热，可达到很高的温度，使其内部靶材气化，进行蒸镀kodf♜org”陈婉清道kodf♜org
许秋继续看向舱体，中间部分有一探头状的物体，像个吊灯一样悬挂在束源炉和平台的上方kodf♜org
学姐顺着许秋的目光看去，主动介绍道：
“这个是晶振装置，探头处装有晶振片，用来实时检测蒸镀的薄膜厚度kodf♜org它的位置一定不能乱动，因为现在的参数是已经标定过的，如果移动了它的位置，对膜厚的检测结果就不标准了kodf♜org此外晶振片也是有寿命的，所以需要定期更换晶振片，并重新标定厚度kodf♜org”
舱体最上面是一块大的圆形金属挡板，以及一个可以旋转的样品台kodf♜org
陈婉清道：“蒸镀过程中，气态靶材分子会在舱体内运动kodf♜org当金属挡板打开时，可以阻挡靶材分子到达样品表面，所以它叫做样品挡板kodf♜org开始蒸镀时，需将其打开kodf♜org样品台可以旋转，其下方有掩模版，用来得到特定的薄膜图案，而它上面的样品支架可以取下来装样品，装好后再安装回去kodf♜org”
将舱内情况了解完毕后，许秋开始做蒸镀前的准备工作kodf♜org
两批基片的器件结构不同，需要分两次进行蒸镀kodf♜org
第一批是正常结构，也就是蒸镀钙和铝kodf♜org
许秋首先在钨篓中装满%纯度的铝锭，然后让学姐帮忙打开钙束源炉的挡板kodf♜org
挡板的开关是数控的，需要在手套箱外的总控台操作kodf♜org
打开挡板后，他取出束源炉内部的陶瓷坩埚，将上次使用后剩余的残渣倒出，再加入两勺新的%纯度的钙粉末kodf♜org
陶瓷坩埚是特质