第48章 是不是意味着AS公司的人也太蠢了点?
第48章是不是意味着AS公司的人也太蠢了点?(求追读)
“我自己设计的srimt。org”
骆垚的眼睛和杨明的眼睛开始对视srimt。org
骆垚眼中一丝情绪都没有,杨明看不穿骆垚的想法,但直觉告诉他这事如果真是骆垚干出来的,那可以入选天方夜谭故事集选了srimt。org
杨明试探的问道:“小同志,这事情可不能开玩笑,EUV光刻机光源系统这套技术现在连斯喀戎那边都没有掌握,你确定是你自己设计的?”
骆垚早就知道对方有此一问,所以很快地说起了原理:“光刻机一般分两种,一种是DUV,而另一种就是EUV,DUV使用的光源波长是193纳米,而EUV使用的是13.5纳米波长的光源srimt。org”
“根据瑞利判据R=D/1.22,可以得出,光学系统能够分辨的尺寸和波长成正比srimt。org”
“所以如果要制造更小尺寸的芯片,就需要更短波长的光,也就是EUV的光源srimt。org”
“实际上我们都知道EUV的光源使用的还是193纳米的光,但是用它去连续击打两次液态金属锡,就能得到13.5纳米的光srimt。org”
“截止到这里都很简单,不过最难的是它的光路系统中的零件,也就是透镜srimt。org”
杨明边听边点头srimt。org
透镜的成本占到了整个光刻机的40%左右,成本相当高昂srimt。org
光刻机的透镜就跟照相机镜头,由不同形状的镜片组成srimt。org
如果想更好的理解光刻机,也可以说它是一台大型的照相机srimt。org
不同的是,普通的照相机是来拍妹子的,而光刻机则是用来把集成电路图形通过曝光显影的原理,复制到晶圆上srimt。org
所以透镜就和照相机镜头一样,主打就是一个贵字srimt。org
就是打月亮的神镜头,都要叫光刻机透镜一声爸爸srimt。org
光刻机上面现在有二十多块透镜,现在能造出来的只有三家国外工厂,华国这边则还在研发中srimt。org
“当初这透镜就难倒了我们,长机那边产的透镜,透光率和光滑程度再怎么做也做不到外国那样,光源在上面反射出来的效果根本没法用srimt。org”杨明说到这个事情就觉得伤心srimt。org
“70年代我们没有搞半导体真的失去太多了srimt。org”杨明感叹道srimt。org
骆垚看着杨明那一张满藏遗憾的脸,想了想,决定摊牌了:“透镜的技术难点
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