设备周围,哪怕是说话大声一点,都可能影响到光刻结果qe19點cc
光刻开始qe19點cc
大约16秒左右,被光刻完成的硅片便出现另一侧的出口qe19點cc
然后又快速加工了第二块硅片,同样是16秒左右出来qe19點cc
在检测室外面的赵军、李伟光、方龙等人,都紧紧盯着那两块光刻完成的硅片qe19點cc
张工和李工用特制的设备,一人负责一块硅片,转移到隔壁的电镜检测室里面qe19點cc
电子显微镜下,硅片上的电路图纹路和模板一模一样,唯一区别就是尺寸qe19點cc
“竟然真的可以做到7纳米,不可思议qe19點cc”李工看着电子显微镜惊叹道qe19點cc
“不仅仅如此,X射线光刻出来的纹路非常整齐细腻,真是一个杰作qe19點cc”张工补充道qe19點cc
俩人对于两块硅片进行了非常全面的检测,最后生成两份检测报告qe19點cc
在外面干着急的李伟光,看到俩人走出来,迫不及待的上前问道:“结果如何?”
中芯国际和海思众人紧张又期待的看着俩人,希望是好消息,而不是坏消息qe19點cc
“李总,神光1X射线光刻机的精度确实达到了10~7纳米,甚至比阿斯麦的极紫外光效果更加好qe19點cc”张工解释道qe19點cc
呼!众人长出一口气qe19點cc
李工将两份检测报告递给李伟光:“这是具体检测报告qe19點cc”
中芯国际的众人连忙传阅起来qe19點cc
看完详细的检测报告之后,赵军和李伟光呼吸都重了起来,这个神光1X射线光刻机比阿斯麦的顶级光刻机还更强一丝qe19點cc
至少目前阿斯麦公司的顶级光刻机,在面对7纳米芯片时显得有些力不从心,而神光1X射线光刻机却游刃有余qe19點cc
如果他们知道黄明哲故意限制精度,就会明白为什么会游刃有余了qe19點cc
“高总,我以一个华国芯片人的身份,向你们致敬qe19點cc”李伟光激动不已的说道qe19點cc
作为一个华国芯片人,他们活得太憋屈了,国内外的种种压力,几乎让压得他们喘不过气了qe19點cc
而神光1X射线光刻机的出现,让李伟光等人感到了扬眉吐气,终于不需要忍受那些鸟人的冷嘲热讽qe19點cc
“我们不敢居功,其实这台光刻机可以诞生,社长要占90%的功劳qe19點cc”高致远说得一点都不夸张qe19點cc
X射线光刻机的方向是黄明哲选择的,两个关键性材料来源于光敏材料规律模型,全套软件系统和黄明哲息息相关qe19點cc
另外