察着晶圆的情况。
毕竟是精确到纳米级别的光刻机!
这一项研究对于他们而言,显然也充满了十足的挑战!
很快,他就皱起眉毛来了。
在无数研究人员的注视下,贺老平静摇了摇头。
只见他转过身来,念出了几个坐标。
“你们注意一下142,64还有7,69这两个坐标。”
“这两个坐标的附近,几乎都有3-4纳米的误差!”
他从仪器中,取出了检验的晶圆平静的说道。
“这么高的误差,表示我们依旧无法生产10纳米以下的芯片!”
“距离目前世界上高精度芯片还有着相当的距离。”
围绕在一旁的研究人员,以及专家无不底下头来。
话虽然是这么说,可对比起他们之前的光刻机技术已经成长了许多了。
尽管成功率不算高,在此之前也已经制造出几片5纳米规格的芯片。
贺老平静的说道。
“另外,我在这里宣布一个好消息,以及一个坏消息。”
贺志远的声音,让众人再度抬起头来。
这种说话语气,可不像是贺老啊。
不过,光电研究团队,还是流露出好奇。
“贺老,您说!”
贺志远点了点头,平静的说道。
“目前,其实我们的曝光系统其实已经基本没有问题。“
“脉冲冷激光经过反射后,完全能够用于光刻。”
他的语气一顿,继续说道。
“先说坏消息。”
“现在的问题在于,光刻机的对准系统出现了问题。”
“在晶圆光刻后,始终会出现一定的偏差!”
贺志远突然流露出一丝微笑。
“至于好消息是,我已经想到了解决这个问题的方法!”
“如果不出意外,目前我们所掌握的光刻技术,至少能够制造出1纳米级别的芯片!”
正当众人准备鼓掌的时候。
贺志远举起了手制止了众人。
“还没成功呢!”
“何况这点成就,与苏总工的冷核聚变来说,根本不足为题。”
“你们快去将光刻机的模具拿过来,还有光刻机对准系统的工作日志打印下来。”
“我现在就要对于光刻机的对准系统,进行改良!”
在贺老的言语之下,实验室里的众人立刻忙碌了起来。
贺志远看着头顶明亮的灯泡,流露出笑容。
其实能够在这么短的时间内,光刻机取得阶段性的进展,还是取决于苏川。
首先是,对于苏川提出脉冲冷激光的想法,直接改变了他的思路。
这段时间,他们一直在研究脉冲冷激光。
在此之前,尝试的极紫外光最多也就保证10纳米到15纳米精度的光刻。
脉冲冷激光则既然相反。
在理论上甚至能够达到1纳米级别,甚至更为精细的光刻!
他们在短时间内,光刻机的核心技术,曝光系统突飞猛进。
反而是对准系统,开始拖后腿了。
不过在今天发生
点击读下一页,继续阅读 秋声雨霖 作品《核动力都出来了,你说你本科生?》第85章 研发成功了!